YPM은 특수가스 합성·정제 분야의 독자적 기술을 꾸준히 개발하며 다수의 국내외 특허를 보유하고 있습니다.
반도체 공정의 미세화에 대응하는 초고순도 가스 제조 기술과 차세대 소재 개발을 지속 추진합니다.YPM continuously develops proprietary synthesis and purification technologies, holding multiple domestic and international patents. R&D focuses on next-generation purity levels aligned with advanced semiconductor node roadmaps.YPM entwickelt kontinuierlich eigene Synthese- und Reinigungstechnologien und hält zahlreiche in- und ausländische Patente. Die F&E konzentriert sich auf Reinheitsgrade der nächsten Generation, abgestimmt auf die Roadmaps fortschrittlicher Halbleiter-Prozessknoten.YPM持续开发特种气体合成与精制领域的自主技术,拥有多项国内外专利。研发工作聚焦于与先进半导体制程节点路线图相匹配的下一代纯度水平。YPMは特殊ガスの合成・精製分野における独自技術を継続的に開発し、国内外で多数の特許を保有しています。R&Dは、先端半導体プロセスノードのロードマップに対応した次世代純度レベルの実現に注力しています。
고순도·고신뢰성 가스 정제 기술High-purity, high-reliability gas purification technologyHochreine, hochzuverlässige Gasreinigungstechnologie高纯度、高可靠性气体精制技术高純度・高信頼性ガス精製技術
반도체 공정의 미세화와 고도화에 따라 특수가스에 요구되는 성능과 품질 기준 또한 지속적으로 높아지고 있습니다.
YPM 기술연구소는 반도체 주요 공정에 적용되는 특수가스의 연구개발을 통해 고객의 공정 요구에 선제적으로 대응하고,
변화하는 반도체 공정에 최적화된 특수가스 솔루션을 개발하고 있습니다.As semiconductor processes become finer and more advanced, the performance and quality standards required of specialty gases continue to rise.
YPM's technology research institute proactively responds to customers' process requirements through R&D of specialty gases applied to major semiconductor processes,
developing solutions optimized for evolving semiconductor processes.Mit der fortschreitenden Miniaturisierung und Weiterentwicklung der Halbleiterprozesse steigen auch die Anforderungen an Leistung und Qualität von Spezialgasen kontinuierlich.
Das Technologieforschungsinstitut von YPM reagiert durch die Forschung und Entwicklung von Spezialgasen für zentrale Halbleiterprozesse proaktiv auf die Prozessanforderungen der Kunden
und entwickelt Lösungen, die auf sich wandelnde Halbleiterprozesse optimiert sind.随着半导体制程的精细化与高端化,对特种气体所要求的性能与质量标准也在不断提高。
YPM技术研究所通过对应用于半导体主要制程的特种气体进行研发,前瞻性地满足客户的工艺需求,
并持续开发针对不断变化的半导体制程优化的特种气体解决方案。半導体プロセスの微細化・高度化に伴い、特殊ガスに求められる性能・品質基準も継続的に高まっています。
YPM技術研究所は、半導体の主要工程に適用される特殊ガスの研究開発を通じて顧客のプロセス要求に先取的に対応し、
変化する半導体プロセスに最適化された特殊ガスソリューションを開発しています。
에피택시 공정용 특수가스Specialty gas for epitaxySpezialgas für die Epitaxie外延工艺用特种气体エピタキシー工程用特殊ガス
식각 공정용 특수가스Specialty gas for etchingSpezialgas für das Ätzen蚀刻工艺用特种气体エッチング工程用特殊ガス
열처리 공정용 특수가스Specialty gas for annealingSpezialgas für die Temperung退火工艺用特种气体アニール工程用特殊ガス
차세대 반도체 공정용 특수가스Specialty gas for next-gen nodesSpezialgas für Halbleiterprozesse der nächsten Generation下一代半导体制程用特种气体次世代半導体プロセス用特殊ガス